5月度 定例発表会

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5月度 研究発表会 研究室見学2件、発表会4件

高度産業科学技術研究所 (播磨科学公園都市)にて

◆ 研究室見学会 ◆ 13:45~14:45 「木下 博雄 研究室」「山田 公 研究室」
◆ 発 表 会 ◆  15:00~17:55 セミナー大ルーム 

1.『大学の研究と産業界のつながり ―日本とアメリカ
  における現在の事情―』 京都大学 名誉教授 姫路
  工業大学高度産業科学技術研究所客員教授 山田 公

高度の先進技術が求められる産業界では、常に要求にかなう技術開発を続けなければならない。各企業は他社の追随を許さない技術を確立して先行利益を確保しつつ、社会貢献することが肝要である。大学、国公立研究所の生み出すシーズを活用し、これらを効果的に実用化するためには我が国の産業技術戦略政策に斬新な試みが必要である。シーズが我が国独自のものであっても技術展開のなかで欧米の後塵をはいすることが極めて多い。半導体などの電子部品の開発、超精密加工、新材料開発に応用されるイオンビーム技術の研究開発を中心に、放射光、レーザー、電子ビームなどの量子ビームプロセスの現状と今後の展開を論ずる。

2.『次世代通信環境』 光・量子科学技術大部門
   教授 木下 博雄

 次世代の半導体製造のリソグラフィ技術として期待されている極端紫外線露光法についてその開発の背景、発案のポイントと、なぜこの装置の開発が現在急務となっているかについてお話するとともに、最近のニュースバルでの成果を紹介する。

3.『簡易球面形状の評価装置の開発について』
光・量子科学技術大部門 助手 渡邊 健夫
ミラーの球面精度を1nm以下の精度で測定可能な簡易型球面形状測定装置を開発した。 原理はグラスファイバーの端から発生される球面波を参照面とするため、精度の向上が図られる。また、ファイバー端を被検査面にセットするため、空間的な制約を受けない等のメリットがあります。

4.『助成金活用事例:大型DCブラシレスキャンドポンプの開
発』
三相電機(株)  研究開発部 研究三G GM 藤田 知一
近年、環境問題意識の高まりとともに、生産設備機器の高効率化の要求が高まっています。また半導体製造設備関係ではクリーンルームに設置する場合など、低発塵で省スペースであることが必須条件となっています。現在、半導体、プリント基板、LCD(液晶ディスプレイ)の製造工程や種々の化学プラントには、薬液移送循環用として数多くのマグネットカップリング式シールレスポンプが使用されています。今回、これをDCブラシレスのキャンド構造とすることで、小型軽量で優れた制御性を持つポンプを、効率を犠牲にすることなく実現しました。  

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